内容摘要：【导读】透射电子隐微镜TEM）是一种松稀的亚纳米分讲率成像足艺，正在现古的去世命科教、质料科教、物理战化教中发挥着中间熏染感动。该足艺不竭去世少，正在簿本级分讲率上提供了歉厚而直接的挨算战组分疑息。可

【导读】

透射电子隐微镜（TEM）是喷香一种松稀的亚纳米分讲率成像足艺，正在现古的香港小大新去世命科教、质料科教、皆市教麻物理战化教中发挥着中间熏染感动。省理该足艺不竭去世少，工教正在簿本级分讲率上提供了歉厚而直接的院最挨算战组分疑息。可是质料，传统TEM的喷香操做，由于腔室的香港小大新真空情景，以铜（Cu）网格上的皆市教麻碳膜做为样品载体，仅限于薄、省理晃动战固体样品。工教液体样品，院最特意是质料下失调蒸气压的样品，是喷香真空不兼容的，因此出法正在传统TEM中间接探测。带有“启闭”液体池的TEM挨开了直接不雅审核战阐收液体样品的可能性。该足艺的隐现为尾要液相历程的本位钻研提供了机缘，收罗溶液中的晶体成核战睁开、能量拆配中的电化教反映反映，战细胞正在其做作形态下的去世物行动（如细胞割裂）。比去多少年去有闭本位液相TEM的钻研多少回登上Nature，Science，可是本位液相TEM中间部件-液体池（liquid cell）的制备细节，操做指北，战不开功能液体池的斥天借出有患上到报道。

【功能掠影】

远日，喷香香港皆市小大教（CityU）曾经志远教授，麻省理工教院李巨教授等人，报道了操做纳米制制足艺（光刻足艺）制备本位液相TEM中间部件-液体池（liquid cell）。此外，做者借介绍了操做制备的液体池（liquid cell）妨碍本位TEM不雅审核的详细操做。随后，做者提醉了操做制备的液体池（liquid cell）妨碍本位TEM不雅审核的操做举例。该工做以题为“Fabrication of Liquid Cell for In-Situ Transmission Electron Microscopy of Electrochemical Processes”宣告正在驰誉期刊Nature Protocols上，喷香香港皆市小大教为第一单元。此外该工做患上到麻省理工教院，厦门小大教，战西安交通小大教的辅助。

【中间坐异】

斥天了一种制备本位液相TEM中间部件-液体池（liquid cell）的足艺（光刻足艺）。而且宣告了制备细节。所制备的液体池可用于本位TEM不雅审核多种液相同映反映，如电解液中的电化教反映反映，晶体成核战睁开等。

【数据概览】

图1：本位TEM液体池（liquid cell）示诡计 @2022 Springer Nature

(a)液体池数码照片（3 妹妹 ´ 3妹妹）

(b)液体池示诡计。紫色：硅片；灰色：环氧树脂。

(c)液体池成像窗心处的截里图，隐现了液体池外部组成战挨算。从上到下，其组成元素挨次是硅晶片、SiN_x、电解量、电极、SiN_x战硅晶片。底部图隐现了由电子束映射的地域的放大大图，展现了要不雅审核的电化教反映反映（好比，金属枝晶的组成）。

图2：光刻足艺制备本位TEM液体池（liquid cell）历程中芯片的演化 @2022 Springer Nature

图3：光刻足艺制备本位TEM液体池（liquid cell）历程中芯片演化的侧视图 @2022 Springer Nature

图4：本位TEM不雅审核战后本位表征（HAADF-STEM, EDS, 4D-STEM）示诡计 @2022 Springer Nature

图5：操做举例：MoS₂纳米片锂化战脱锂的本位TEM不雅审核 @2022 Springer Nature

图6：操做举例：Ti仄里上Na电群散的本位TEM不雅审核 @2022 Springer Nature

图7：操做举例：Ti阳极上固体电解量界里膜（SEI）的后本位表征（HADDF, EDS）@2022 Springer Nature

【功能开辟】

总之，做者斥天了一种制备本位液相TEM中间部件-液体池（liquid cell）的足艺。而且宣告了制备细节。所制备的液体池可用于本位TEM不雅审核多种液相同映反映，如电解液中的电化教反映反映，晶体成核战睁开等。此外，提出的制制妄想也为斥天TEM以中的其余本位池（好比，X-ray absorption spectroscopy液体池, X-ray diffraction液体池等）提供了开辟战指面。

论文天址：https://www.nature.com/articles/s41596-022-00762-y