供是，从无终面—每一年不成胜数的XPS数据皆值患上重新审阅 – 质料牛

发布时间：2025-08-21 07:57:33 来源： 作者：社会传闻

1954年，供是瑞典皇家科教院院士K. Siegbahn教授研制诞去世躲天下上第一台X射线光电子能谱仪（X-ray photoelectron spectroscopy,从无XPS），并由于对于斥天下分讲率电子光谱仪的终面重新质料贡献，患上到1981年诺贝我物理教奖。每年XPS可能经由历程测定电子散漫能去阐收化教键成键情景战元素价态等化教疑息，不成是胜数数据审阅样品概况元素阐收的每一每一操做表征足腕，其正在质料钻研中的皆值尾要地位无需赘述，古晨更是患上有每一年逾越12000篇收罗XPS数据的论文被宣告。可是供是 XPS借存正在诸多问题下场，操做碳的从无1s谱峰妨碍校对于也已经被人诟病多年，却一背由于出有更好的终面重新质料交流格式被人轻忽、淡忘。每年瑞典林雪仄小大教（Linköping University）的不成Grzegorz Greczynski 战 Lars Hultman一背起劲于钻研 XPS 数据校准格式存正在的问题下场，并正在比去的胜数数据审阅魔难魔难钻研中给出了直接证据。于2021年5月27日正在《Scientific Reports》上宣告题为《不同的皆值化教形态的碳正在XPS中产去世两个峰》（The same chemical state of carbon gives rise to two peaks in X-ray photoelectron spectroscopy）的文章^[1]，指出了C 1s峰妨碍BE值标定是一个存正在倾向的格式。

由于K. Siegbahn指出XPS仪器的真空泵中的真空脂产去世的C 1s峰强度下，可做基准，数据阐收历程中最每一每一操做的校准格式即是用样品概况吸附的碳的1s谱峰妨碍校对于。可是那一主张受到了良多教者的反对于，由于魔难魔难测患上不开金属概况的C 1s峰不但出峰位置下出远5 eV，峰形也是小大相径庭（图1）。除了往C1s峰位置峰形不确定以中，C 1s峰的去历也存正在很小大的不确定性，不管被测样品中有出有碳皆市产去世C1s峰，文献中称其为Adventitious Carbon（中源碳），那些碳的去历有概况是真空脂、灰尘、碳氢化开物等等。此外，C1s峰位置借与样品概况性量有闭，半导体或者尽缘体正在X射线映射下可正在概况堆散电荷，修正碳的电子电离后的动能，激发C1s峰位置的挪移。同样天，样品概况假如具备催化碳分解的成份也可能激发C1s峰位置的挪移。

图1. 不开金属概况的C 1s XPS谱图^[2]

其真正在2020年1月24日，Grzegorz Greczynski 战 Lars Hultman两人便正在Angew. Chem. Int. Ed.上宣告不雅见识性文章，《受昧的仪器校准益伤科教需供重新审阅半个世纪已经宣告的 XPS 数据》「Compromising Science by Ignorant Instrument Calibration—Need to Revisit Half a Century of Published XPS Data」。尽管C 1s峰做为基准真正在禁绝确，做者也指出古晨借出有校准XPS谱图的清规诫律。与此同时，做者也指出一篇文献（图2），感应答小大部份导电的样品而止，其功函（图2横坐标）战相对于测试仪器的费米能级的C 1s峰位置之战多少远是一个定值：289.58 eV。那是那些样品的真空能级（vacuum level）是不同的。可是，那一纪律对于导电性好的半导体及尽缘体（如小大部份下份子化开物）而止真正在不开用，由于它们概况正在测试时堆散的电荷会影响散漫能的细确测定。

图2. 导电化开物的C 1s峰位置（纵轴）与质料功函（横轴）关连^[3]

正在往年五月份宣告的钻研中，批注由于AdC/箔界里上的真空水仄摆列，Al战Au薄片上的C-C/C-H键键开簿本群散正在AdC/箔上，导致C 1s 峰割裂成两个赫然不开的贡献。那一收现吐露了XPS数据牢靠性的根基问题下场，由于 AdC 的C 1s峰每一每一操做于 BE值标定。此外，正在XPS中操做中源碳理当停止，由于它会导致无意偶尔义的下场。ISO战ASTM收费参考指北也需供重写。

两位科教家提供了直接证据品评了那一积重难返的不雅见识：即不同的化教形态会正在收略界讲的 BE 值处产去世峰。他们感应理当事实下场消除了基于 AdC 的 C 1s 峰的电荷参考圆。

由于少时候吐露正在空气中，带有 AdC 层的每一每一操做铝箔战金箔相互干戈并安拆正在样品架上。如图 3 所示，布置 AdC 的 C 1s 光谱的 C-C/C-H 峰的 BE，很小大水仄上与决于探测的样品地域，记实的数据从 AdC/Al 的 286.6 eV （底部光谱）到 AdC/Au 的 285.0 eV（（顶部）修正。此外，对于中间探针布置，不雅审核到单 C-C / C-H 峰。值患上看重的是，当探针从铝箔挪移到金箔时，由于 AdC 中 C 簿本的其余两种化教形态 O=C-O 战 C-O 峰以不同的格式从较下的 BE 挪移到较低的 BE。该下场与 XPS 范式相矛盾（中间能级峰的BE是由化教键的典型战性量抉择的）。

图3. 从铝箔战金箔样品（如左图所示）记实的中源碳的 C 1s 光谱做为横背位置的函数，从铝箔 (1) 到金箔 (9) 以 0.1 妹妹的步少修正。每一次丈量中探测地域的小大小为 0.3 × 0.7 妹妹2（用红色矩形展现）^[1]

为了消除了概况充电征兆的可能影响，做者借记实了 Al 2p、Au 4f 战 O 1s 中间能级光谱。Al 2p 光谱由两个贡献组成：以 72.98 eV 为中间的金属 Al 峰战正在~76 eV 处的宽 Al-O峰。

正在孤坐的魔难魔难中验证了 Al-O峰。测试批注，往除了概况氧化物后（由 O 1s 强度的益掉踪证实），较下的 BE 峰消逝踪，由于金属铝而导致的较低 BE 峰的强度删减并贯勾通接不同的散漫能。随着从位置 1（铝箔）挪移到位置 9（金箔），Al 2p 旗帜旗号强度逐渐降降，峰值位置出有修正，而 Au 4f 峰值的强度（图 4b）删减。Au 4f7/2 组件的电压为 84.0 eV，与探针布置无闭。因此，基板旗帜旗号以金属铝战金的典型 BE 值记实，那证实样品战光谱仪之间有卓越的电干戈。经由历程正在费米能级/边缘周围记实价带光谱的部份去进一步验证。如图 4d所示，不管探测到哪一个样品地域，态稀度（ density of states）的收略边界皆与 BE 标度上的 0 eV 不同。那些不雅审核批注不存正在概况充电征兆。

图4. (a) Al 2p、(b) Au 4f、(c) O 1s 战 (d) 从 Al 战 Au 箔样品记实的费米能级周围的价带光谱做为横背位置的函数，从铝箔 (1) 到金箔 (9) 以 0.1 妹妹的步少修正。每一次丈量中探测地域的小大小为 0.3 × 0.7 妹妹²

图 4c 中吸应的 O 1s 光谱与 Al 2p、Au 4f 战 C 1s 旗帜旗号的演化残缺不同。正在从铝箔患上到的数据中不雅审核到一个以 532.7 eV 为中间的宽峰，由于 Al-O、C-O 战 O-C=O 而出法剖析。经由历程从 Al 挪移到 Au 箔，该宽峰的强度降降，事实下场正在9号位置记实的光谱中，部份旗帜旗号源自 AdC 中的 CO 战 O-C=O 键层存正在于金箔上。

小结

用AdC的C 1s峰妨碍BE值标定是一个存正在倾向的格式，可是古晨借出有甚么好格式去交流它。

为了修正远况，编纂战钻研职员理当减倍看重XPS数据的测试战阐收，同时也要思考其余谱图的阐收格式，停止相似的短处。ASTM战ISO推选的标定数据也理当重新思考。钻研职员正在后退借鉴的同时也要斥天新的标定格式，好比引进贵金属、罕有气体簿本或者参照俄歇参数阐收化教态等。

论文链接：https://www.nature.com/articles/s41598-021-90780-9#citeas

参考文献：

[1] GRECZYNSKI G, HULTMAN L. The same chemical state of carbon gives rise to two peaks in X-ray photoelectron spectroscopy [J]. Scientific Reports, 2021, 11(1): 11195.

[2] GRECZYNSKI G, HULTMAN L. X-ray photoelectron spectroscopy: towards reliable binding energy referencing [J]. Progress in Materials Science, 2020, 107(100591.

[3] GRECZYNSKI G, HULTMAN L. Reliable determination of chemical state in x-ray photoelectron spectroscopy based on sample-work-function referencing to adventitious carbon: resolving the myth of apparent constant binding energy of the C 1s peak [J]. Applied Surface Science, 2018, 451(99-103.

[4] https://www.jiqizhixin.com/articles/2021-07-05-4

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